真空装置/PLDのAOV
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真空装置
■真空装置
- 大面積PLD装置
- エキシマレーザパルス蒸着装置
- YAGレーザパルス蒸着装置
- PLAD-261PG PLDシステム
- PLAD-161 PLDシステム
- PLAD-150Y PLDシステム
- PLAD-271PE PLDシステム
- PLAD-250R PLDシステム
- PLAD-250E PLDシステム
- PLAD-221-Y PLDシステム
−複合E-Gun/PLD装置
−スパッタ蒸着（Sputter）
−イオンビームアシスト蒸着（IBAD）
−電子ビーム蒸着（EB）
■その他真空装置
−ロール基板PVD蒸着
真空部品
■真空部品
−SiC基板加熱機構
−レーザー導入真空部品
−トランスファー機構
−ビューポート付ハッチ
−パターンプレート機構
−タッチパネル式プロセス機構
−膜厚計
−バイアス/逆スパッタ
−分子セル/抵抗過熱蒸着
−イオンソース
−ラジカルビーム源
−グローブボックス連結
−真空対応パスボックス
■ 17/02/06
【展示会出展のお知らせ】
2017/3/14（火）〜17（金）までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 15/03/05
【展示会出展のお知らせ】
2015/3/11（水）〜14（土）まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年 第62回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 14/06/09
【展示会出展のお知らせ】
2014/9/17（水）〜20（土）まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 09/12/10
【NIMNOWの表紙に
弊社装置が掲載】
独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。
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