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真空装置

PLAD-221-Y PLDシステム

PLAD-221-Y PLDシステム

PLAD-221-Y PLDシステムはNd:YAGレーザを用いたPLDです。

独自の回転式SiC基板加熱により、基板面上で850度以上の加熱が行えます。

ターゲットは20mm径を４個有し、自転および公転により、ターゲット上の照射が均一になる様に補正されます。

主な仕様
TMP排気系
200L/s（メイン）、50L/s（LL）
基板サイズ
最大2inch （50.8mm）径
基板温度（基板上）
850℃
到達真空度
5×10-6pa　以下
ロードロックチャンバー
基板2枚、ターゲット2個最大収納
ターゲット
1inch径×6個　もしくは　2inch×4個
導入光学系
ステアリングミラー、集光レンズ、安全光学カバー
レーザ発振警告表示灯
オプション例
  • ・短冊式基板成膜機構
  • ・PM114 導入パワー測定用レーザ導入機構
  • ・RHEED 電子銃
  • ・RHD-SC114 スクリーンシャッター
  • ・RHEED 画像解析
  • ・プルーム発光モニター
  • ・ビームプロファイラー

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真空装置製品一覧
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先端的なレーザー・光学技術と真空技術を融合し、新薄膜生成システム、精密加工システムを仕様用途に応じてカスタマイズすることにより、世界に1台の製品をご提供いたします。

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AOVの新着情報
■ 17/02/06

【展示会出展のお知らせ】

2017/3/14（火）〜17（金）までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 15/03/05

【展示会出展のお知らせ】

2015/3/11（水）〜14（土）まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年 第62回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 14/06/09

【展示会出展のお知らせ】

2014/9/17（水）〜20（土）まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 09/12/10

【NIMNOWの表紙に
　弊社装置が掲載】

独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。 NIMSNOW2009年11月号