レーザ導入窓,レーザ入射用窓
AOV-TOP >> 真空部品 >> レーザ導入真空部品 >> 回転ディスク付き導入パワー測定用真空部品
RW-215 回転ディスク付き
導入パワー測定用真空部品
使用レーザ、波長、出力、光学系条件により、最適な提案を行います。
Ø215ｍｍ大型合成石英回転窓により、汚染時、内部のディスクを回転することにより、窓の交換無しで常にクリーンな状態を維持することができます。
成膜前後に投入パルスエネルギーを測定しておくことで、チャンバー内の汚染やオプティクス消耗などによるエネルギーの変化を確認できます。
オプション例
- ・発熱体がSiC材のため、超高真空から大気圧近傍まで高温に加熱することができます。
>>次のオプション
その他オプション
SiC基板加熱機構 | レーザ導入窓 | トランスファー機構 | ビューポート付ハッチ
パターンプレート機構 | タッチパネル式プロセス機構 | 膜厚計 | バイアス/逆スパッタ
分子セル/抵抗過熱蒸着 | イオンソース | ラジカルビーム源 | グローブボックス連結
真空対応パスボックス
AOV社取り扱い製品
- 真空部品トップ
- ■ SiC基板加熱機構
- −回転式SiC基板加熱機構
- ■ レーザ導入真空部品
- −LIWシリーズ レーザ入射用窓
- −回転ディスク付き
導入パワー測定用真空部品 - −導入パワー測定用真空部品
- ■ トランスファー機構
- −トランスファー機構
- ■ ビューポート付ハッチ
- −RHSシリーズ シャッター
- −VPHシリーズ ハッチ
- ■ パターンプレート機構
- −パターンプレート機構
- ■ タッチパネル式プロセス機構
- −タッチパネル式プロセス機構
- ■ 膜厚計
- −膜厚計
- ■ バイアス/逆スパッタ
- −バイアス/逆スパッタ
- ■ 分子セル/抵抗過熱蒸着
- −分子セル/抵抗過熱蒸着
- ■ イオンソース
- −イオンソース
- ■ ラジカルビーム源
- −ラジカルビーム源
- ■ グローブボックス連結
- −グローブボックス連結
- ■ 真空対応パスボックス
- −真空対応パスボックス
■ 17/02/06
【展示会出展のお知らせ】
2017/3/14（火）〜17（金）までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 15/03/05
【展示会出展のお知らせ】
2015/3/11（水）〜14（土）まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年 第62回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 14/06/09
【展示会出展のお知らせ】
2014/9/17（水）〜20（土）まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 09/12/10
【NIMNOWの表紙に
弊社装置が掲載】
独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。
>> 過去の更新情報