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真空部品

回転式SiC基板加熱機構

回転式SiC基板加熱機構

回転式SiC基板加熱機構 は、発熱体にSiC材を用いることで、超高真空から大気圧近傍まで、高温に加熱することができます。

主な仕様
基板サイズ
最大2“径
他、3“径、4“径、6“径、8“径、12“径試作
角型基板にも対応
基板面上温度
850℃以上(条件による)
ヒータ温調1150まで対応
基板回転機構
スピードコントロールモータ式
オプション例
  • ・ステッピングモータ(成膜条件連動)
  • ・RHD-SC114 スクリーンシャッター
  • ・基板本体上下機構オプション

その他オプション

SiC基板加熱機構 | レーザ導入窓 | トランスファー機構 | ビューポート付ハッチ
パターンプレート機構 | タッチパネル式プロセス機構 | 膜厚計 | バイアス/逆スパッタ
分子セル/抵抗過熱蒸着 | イオンソース | ラジカルビーム源 | グローブボックス連結
真空対応パスボックス


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真空部品製品一覧
AOVの強み

先端的なレーザー・光学技術と真空技術を融合し、新薄膜生成システム、精密加工システムを仕様用途に応じてカスタマイズすることにより、世界に1台の製品をご提供いたします。

AOVの新着情報
■ 17/02/06

【展示会出展のお知らせ】

2017/3/14(火)〜17(金)までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 15/03/05

【展示会出展のお知らせ】

2015/3/11(水)〜14(土)まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年 第62回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 14/06/09

【展示会出展のお知らせ】

2014/9/17(水)〜20(土)まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 09/12/10

【NIMNOWの表紙に
 弊社装置が掲載】

独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。 NIMSNOW2009年11月号