製膜中の基板に斜め方向に照射し、基板配向の改善（IBAD法）に有効

その他オプション

SiC基板加熱機構 | レーザ導入窓 | トランスファー機構 | ビューポート付ハッチ
パターンプレート機構 | タッチパネル式プロセス機構 | 膜厚計 | バイアス/逆スパッタ
分子セル/抵抗過熱蒸着 | イオンソース | ラジカルビーム源 | グローブボックス連結
真空対応パスボックス

AOV社取り扱い製品

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先端的なレーザー・光学技術と真空技術を融合し、新薄膜生成システム、精密加工システムを仕様用途に応じてカスタマイズすることにより、世界に1台の製品をご提供いたします。

【展示会出展のお知らせ】

2017/3/14（火）～17（金）までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

【展示会出展のお知らせ】

2015/3/11（水）～14（土）まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年 第62回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

【展示会出展のお知らせ】

2014/9/17（水）～20（土）まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

【NIMNOWの表紙に
　弊社装置が掲載】

独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。