試作・実験用薄膜作成E型電子銃装置
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EBAD-Series EB蒸着装置
試作・実験用薄膜作成E型電子銃装置（PLDとの複合成膜も可）です。
金属.絶縁物.各種誘電体蒸着に対応可能な電子銃を搭載しております。
φ30〜40mmハースを均等にビーム照射可能です。
基板径1インチ〜4インチワーク標準、大型6インチ、8インチに対応しております。
SideEntry式4ポケットEB
排気・圧力制御 操作画面例
主な仕様
真空性能
2E-5Pa以下
主ポンプ
TMP 800L/S （水クライオ追加 オプション）
蒸着材料
金属、絶縁物、各種誘電体材料
ハース形状
φ30mm〜40mm （仕様により変更可）
成膜エリア
70mm×200mm（T/S距離、条件に依存）
基板対応サイズ
φ1“〜φ4”標準、大型φ6”,φ8”に対応
投入電力
3KW〜6KW
電源
−6KV〜ー10KV（Arc抑制機能付き）
簡易EBガンシステム構成例
EBガン仕様
蒸着材料
金属、絶縁物、各種誘電体材料
ハース形状
φ30mm〜40mm（材料、仕様により変更可）
最大4点ハース
単一多量材料用のアニュラーハースも対応可
最大4点ハース
単一多量材料用のアニュラーハースも対応可
成膜エリア
70mmx200mm（T/S距離、条件に依存）
ビーム走査範囲
〜φ30mm (材料に依存）
ビーム発生源形状
3KW：W100×D240×H130
6KW:W160×D250×H175
6KW:W160×D250×H175
最大投入電力
3KW〜6KW
印加電圧
−6KV〜ー10KV
オプション例
- ・マルチハース
- ・各種ハースライナー
- ・水晶式膜厚モニター
- ・RHEED
- ・ロードロックチャンバーなど
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■ 17/02/06
【展示会出展のお知らせ】
2017/3/14（火）〜17（金）までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 15/03/05
【展示会出展のお知らせ】
2015/3/11（水）〜14（土）まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年 第62回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 14/06/09
【展示会出展のお知らせ】
2014/9/17（水）〜20（土）まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 09/12/10
【NIMNOWの表紙に
弊社装置が掲載】
独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。
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