PLAD-250E PLDシステム

AOV-TOP >> 真空装置 >> PLDシステム >> PLAD-250E PLDシステム

PLAD-250E PLDシステムはエキシマレーザ（KrF,650mJ,10Hz)を用います。

AOVでは光軸も据付調整を協力致します。

TMP排気系

50L/s（メイン）、もしくは200L/s

基板サイズ

最大2inch （50.8mm）径

基板温度（基板上）

850℃

到達真空度

5×10^-5pa　以下

ロードロックチャンバー

なし
大型アクセスハッチ：ビューポート付ICF203

ターゲット

1inch径×6個　もしくは　2inch×4個

導入光学系

エキシマレーザ用ステアリングミラー、集光レンズ
安全光学カバー

先端的なレーザー・光学技術と真空技術を融合し、新薄膜生成システム、精密加工システムを仕様用途に応じてカスタマイズすることにより、世界に1台の製品をご提供いたします。

■ 17/02/06

【展示会出展のお知らせ】

2017/3/14（火）～17（金）までパシフィコ横浜で開催される『2017年第64回応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 15/03/05

【展示会出展のお知らせ】

2015/3/11（水）～14（土）まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年第62回応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 14/06/09

【展示会出展のお知らせ】

2014/9/17（水）～20（土）まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 09/12/10

【NIMNOWの表紙に
　弊社装置が掲載】

独立行政法人物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。