試作・生産に適したE型電子銃成膜システム
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TEAD-2000大型EB装置
試作・生産に適したE型電子銃薄膜生成装置です。
電子銃本体の上下機構とマルチハース搭載電子銃により多種類の材料の成膜が可能
（多点切り替えセンサーと組み合わせで
長時間連続稼働）
成膜エリア70mmｘ200mmの広範囲成膜可能
（ご依頼により変更可能）
排気・圧力制御 操作画面例
酸素雰囲気中絶縁物蒸着例
主な仕様
蒸着材料
金属、絶縁物、各種誘導体材料
ハース形状
φ30mm〜40mm（材料、仕様により変更可）最大4点ハース
単一多量材料用のアニュラーハースも対応可
※ご要望により変更可能
単一多量材料用のアニュラーハースも対応可
※ご要望により変更可能
成膜エリア
70mm×200mm（T/S距離、条件に依存）
ビーム走査範囲
〜φ30mm（材料に依存）
実装例
■ 5KW電子ビーム
・270度偏向タイプ酸素雰囲気中での
長時間安定性
・ハース回転機構と基板ー蒸発源
距離可変（手動）機構組み合わせ可
（オプション）
・ビームスキャン方式で絶縁物の
安定蒸着
・マルチハース（最大4連）搭載
・蒸着膜厚制御、12点自動切換え方式
（オプション）
・各種ハースライナー（オプション）
・270度偏向タイプ酸素雰囲気中での
長時間安定性
・ハース回転機構と基板ー蒸発源
距離可変（手動）機構組み合わせ可
（オプション）
・ビームスキャン方式で絶縁物の
安定蒸着
・マルチハース（最大4連）搭載
・蒸着膜厚制御、12点自動切換え方式
（オプション）
・各種ハースライナー（オプション）
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■ 17/02/06
【展示会出展のお知らせ】
2017/3/14（火）〜17（金）までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 15/03/05
【展示会出展のお知らせ】
2015/3/11（水）〜14（土）まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年 第62回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 14/06/09
【展示会出展のお知らせ】
2014/9/17（水）〜20（土）まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 09/12/10
【NIMNOWの表紙に
弊社装置が掲載】
独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。
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