PLAD-161 PLDシステム

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PLAD-161 PLDシステムは基板搬送機構を簡易にすることで廉価ながらもメインチャンバーを大気に開放することなく、基板交換が行えます。

TMP排気系

200L/s（メイン）、LLはRPのみ

基板サイズ

最大1inch （25.4mm

基板温度（基板上）

850℃

到達真空度

5×10^-6pa　以下

ロードロックチャンバー

簡易ロードロックハッチ（LLH）

ターゲット

1inch径×6個　もしくは　2inch×4個

導入光学系

エキシマレーザ用集光レンズ

先端的なレーザー・光学技術と真空技術を融合し、新薄膜生成システム、精密加工システムを仕様用途に応じてカスタマイズすることにより、世界に1台の製品をご提供いたします。

■ 17/02/06

【展示会出展のお知らせ】

2017/3/14（火）～17（金）までパシフィコ横浜で開催される『2017年第64回応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 15/03/05

【展示会出展のお知らせ】

2015/3/11（水）～14（土）まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年第62回応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 14/06/09

【展示会出展のお知らせ】

2014/9/17（水）～20（土）まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。

■ 09/12/10

【NIMNOWの表紙に
　弊社装置が掲載】

独立行政法人物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。