先端的なレーザー・光学技術と真空技術を融合し、新薄膜生成システム、精密加工システムを仕様用途に応じてカスタマイズすることにより、世界に1台の製品をご提供いたします。
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レーザー加工機
Laser System
ファイバーレーザ加工機
Nd:YAGレーザ加工機
Nd:YAGレーザ加工機
エキシマレーザ加工機
真空部品
Vacuum Componenta
Sic基板加熱機構
レーザ導入合成石英窓
回転窓レーザ導入部品
トランスファー機構
RHSシリーズ シャッター
ビューポート付ハッチ
パターンプレート機構
タッチパネル式プロセス機構
膜厚計
バイアス/逆スパッタ
分子セル/抵抗過熱蒸着
イオンソース
ラジカルビーム源
グローブボックス連結
真空対応パスボックス
レーザー・光学部品
Laser Component
光学オプティクス
レーザ用パワーメーター
PLDモニタリング装置
高速レーザスキャニング
レーザーテーブル
エキシマレーザ光学系
Nd:YAGレーザ光学系
光学コンポーネント
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