真空装置用アクセサリー
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レーザ・光学系に関連したレーザ導入真空部品の多くを取り扱っており、弊社WEBサイトに記載されていない製品もカスタマイズして提供しております。
レーザ導入真空部品
成膜前後において、投入するパルスエネルギーを測定する真空部品や合成石英窓などを取り扱っております。
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- ■ SiC基板加熱機構
- −回転式SiC基板加熱機構
- ■ レーザ導入真空部品
- −LIWシリーズ レーザ入射用窓
- −回転ディスク付き
導入パワー測定用真空部品 - −導入パワー測定用真空部品
- ■ トランスファー機構
- −トランスファー機構
- ■ ビューポート付ハッチ
- −RHSシリーズ シャッター
- −VPHシリーズ ハッチ
- ■ パターンプレート機構
- −パターンプレート機構
- ■ タッチパネル式プロセス機構
- −タッチパネル式プロセス機構
- ■ 膜厚計
- −膜厚計
- ■ バイアス/逆スパッタ
- −バイアス/逆スパッタ
- ■ 分子セル/抵抗過熱蒸着
- −分子セル/抵抗過熱蒸着
- ■ イオンソース
- −イオンソース
- ■ ラジカルビーム源
- −ラジカルビーム源
- ■ グローブボックス連結
- −グローブボックス連結
- ■ 真空対応パスボックス
- −真空対応パスボックス
■ 17/02/06
【展示会出展のお知らせ】
2017/3/14（火）〜17（金）までパシフィコ横浜で開催される『2017年 第64回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 15/03/05
【展示会出展のお知らせ】
2015/3/11（水）〜14（土）まで東海大学湘南キャンパスで開催される『2015年 第62回 応用物理学会春季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 14/06/09
【展示会出展のお知らせ】
2014/9/17（水）〜20（土）まで北海道大学札幌キャンパスで開催される『2014年 第75回 応用物理学会秋季学術講演会』の併設展示ブースに出展いたします。
■ 09/12/10
【NIMNOWの表紙に
弊社装置が掲載】
独立行政法人 物質・材料研究機構の広報誌、NIMSNOWの表紙にご掲載されました。
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